二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #293805105 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一种高精度的蚀刻器/asher，用于半导体工业中多种不同的应用。TCP 9400是围绕LAM RESEARCH专利DuraSketch™技术构建的,它为蚀刻、灰化和其他关键技术提供了高度精确和可重复的结果。蚀刻器/asher利用高度先进的等离子体工艺提供快速、干净和均匀的蚀刻工艺，从而产生优越的晶圆质量。LAM RESEARCH TCP 9400采用了高度创新的真空负载锁定和基板传输设备，使操作员可以在一个周期内轻松传输多达8个晶片。该系统的设计还允许晶片的精确和受控的垂直运动，从而确保蚀刻过程是高度可重复的，没有过程变化。这样可以提高最终产品的产量和均匀性。该机组还配备了精确的数字射频发电机，具有精确的频率和功率控制。这允许用户拨入饱和响应时间和蚀刻速率，以及精确设置蚀刻深度。工艺参数的精确控制使其非常适合用于任何精密蚀刻工艺。该机还具有大量的源气体选择，允许各种蚀刻应用。它还具有自动气体交换功能,可实现完整的过程自动化。该工具还为蚀刻过程中的精确热控制提供了精确的加热区域。TCP 9400是最苛刻的蚀刻和灰化应用的完美工具。其精密的工艺参数、自动化的气体转换、广泛的气体选择，使其成为高产量、高质量生产工艺的理想工具。其直观的控制、真空传输资产和数字射频发生器也使其成为精密蚀刻工艺的理想选择。