二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #293809942 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一款最先进的蚀刻器/灰化器，旨在满足半导体和先进包装行业对高精度蚀刻和灰化的需求。该设备能够提供具有卓越性能的高速、均匀、可靠的流程。TCP 9400配备了一个完全自动化的集成气体输送平台,能够同时输送多达11个气体输送点。它还具有一个高效的机器人界面，最多可有三个热机器人，最多可操纵40个晶圆进行手动加载和快速周转时间。该设备包括一个带变频驱动器的真空泵封装和一个特殊的加工室，设计用于最大限度地减少排气和尽量减少设备与基板之间的传热。LAM RESEARCH TCP 9400能够为高长宽比提供氧化物、氮化物和其他蚀刻等可重复的工艺，在多个晶圆尺寸上具有高度的准确性和均匀性。TCP 9400的高吞吐量和精细的工艺控制缩短了周期时间,提高了产量。LAM RESEARCH TCP 9400还配备了强大的工艺监控系统，监控整个蚀刻/灰化工艺。其操作过程控制参数，包括气体流量、压力、温度、功率都可以编程到过程控制软件中。这样可以对过程进行最佳的管理,确保一次又一次地对通孔、直线孔和接触孔进行完美的蚀刻/灰化。总之,TCP 9400是半导体和先进封装行业的理想解决方桉,因为它提供了快速、可靠和可重复的工艺,可在多个晶圆尺寸上提供卓越的一致性。其强大的流程监控系统和自动化气体输送平台确保每一项工作完美无瑕地完成,为客户提供更高的生产率和满意度。