二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #293825709 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一个为生产半导体器件而设计的蚀刻/asher单元。它是一种高度自动化的设备,能够在单个操作中执行串联烧蚀和/或蚀刻过程。该系统非常适合中大批量生产设备。该装置具有深层反应性离子蚀刻（DRIE）腔室和气动驱动的盖子打开/关闭机构。该腔室的设计使基板的加工具有高度的精确度和精确度。该腔室有一个集成的热交换器和一个额外的压力控制模块，用于精确的过程控制。这台机器还配备了一个单片转移机器人，用于从工具上装卸基板。这款机器人提供了高度的工艺灵活性，并配备了可靠高效的基板处理视觉工具。机器人还配备了动力模块，使其能够提供优越的基板保护和减少循环时间。控制器单元提供运行资产所需的控制和自动化功能。这包括操作参数、配方管理、数据记录以及与主机的连接。控制器单元包括监控和分析过程结果以及存储未来可重复性配方的功能。最后，该模型还设计了一个可容纳多达8个晶圆的负载锁定室，用于预蚀刻和后蚀刻过程。这个腔室包括一个用于疏散的真空泵和一个用于注入腔室大气的氧气注入口。所有这些组件协同工作，以一致和可靠的方式产生质量、可重复的结果。通过使用TCP 9400 蚀刻器/asher设备,设备制造商可以及时且经济高效地生产满足其规格要求的半导体器件。