二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9053203 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是为晶圆处理应用而设计的蚀刻器/asher。它是一种高速、高分辨率的蚀刻和灰化设备，能够处理直径不超过8英寸的基板。该系统旨在产生极其精确的阵列,并具有一致的结果,可以一致地复制到生产规模应用程序中。它具有高质量的双轴龙门机器人支撑单元,可精确控制整个加工室的运动,还包括一个热成像传感器,用于在加工过程中查看基板的热轮廓。龙门确保基板能够快速准确地被带到所需的加工位置。强大的质量流控制器提供精确的气流管理与一系列的化合物，并要求最低限度的用户干预。高级过程控制软件允许内存中存在多个配方,每个配方最多有10个工作站。该机采用四分之四的锁载室配置，允许最多四个晶片一次装卸。TCP 9400设计用于处理复杂的模式和密集的结构等离子体和化学蚀刻。它可以提供化学和等离子体过程之间的即时切换，允许低循环时间生产。等离子体动力系统可产生高达200瓦的功率，从而能够精确管理蚀刻速率和均匀的特性。此外,LAM RESEARCH TCP 9400还配备了先进的自动晶圆检测快速成像机.这个工具能够用亚微米分辨率测量最小的特征，并且能够在几分钟内成像整个晶片。该机具备嵌入式安全功能，能够监控气体和压力管理，提供更高水平的安全。TCP 9400是一款高性能的蚀刻器/asher,可为大容量晶圆处理应用程序提供显着优势。其先进的控制资产、双轴龙门机器人支持模型和多用途的工艺能力使其成为产生精确、一致结果的理想选择。