二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9131590 待售
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ID: 9131590
晶圆大小: 4"-8"
Poly/Nitride etcher, 8"
System configuration
Wafer transfer
Cassette to cassette
Chamber
1 Process Ch, 2 loadlock ch
Fixed gap electrode( 11.6cm)
1.25KW and 13.56㎒ RF power supply (Process Chamber Upper/Lower)
(RF generator Model : RFG 1250)
Automatic match system
3-Turn TCP coil
Electrode temperature unit interface
Photodiode optical endpoint detector
Electrostatic chuck (Process Chamber)
Bottom redial gas injection
Back HE cooling
1 Turbo pump(Seiko Seiki 2203)
Viton /Fsilicon O-Ring
Orbitally welded gas box
(3) Color Tower Lamps
System controller
Envision –E1.5.1 / LCD moniter
Pressure control
Automatic pressure control(VAT65)
Temperature control system
Single chiller(M&W) temp control range:-20℃~+80℃).
LAM RESEARCH TCP 9400是一种蚀刻器和asher设备,专为高通量过程控制和蚀刻而设计,具有最大的工艺灵活性。它配备了可变电源、数字x-y-z运动控制以及通用工艺室（UPC）模块。该系统采用SmartScan技术,可在不漂移的情况下进行精确蚀刻,从而实现快速准确的蚀刻深度和精加工。TCP 9400适用于蚀刻铝、铝合金、电线、不锈钢，以及其他导电材料。它还具有恒定扫描技术（CST），以提高过程的重复性和准确性。该装置具有精密蚀刻各种材料的能力，具有优良的工艺控制。LAM RESEARCH TCP 9400有一整套可用于控制蚀刻参数的设置。这些设置允许微调蚀刻过程以获得最大的屈服效率。此外,还可以根据需要轻松更改设置,以满足蚀刻作业要求。该单元还配备了功能强大的加热机，可实现手动和自动控制。这使得用户能够精确加热工艺室和基板，以获得最佳的蚀刻结果。此外,蚀刻工具还利用风扇冷却技术提高了蚀刻性能。该蚀刻资产有一个封闭的工艺室，以提高蚀刻效果和安全性。9400 c还配备了增强的过程控制监控功能以及允许改进对蚀刻过程的控制的软件包。该软件还允许简单的图形用户界面数据输入和过程控制。总体而言,LAM RESEARCH TCP 9400c是一种高度通用、灵活的蚀刻和asher模型。它为过程控制提供了全方位的设置,方便的图形用户界面数据输入,以及恒定扫描技术（CST）,以实现最大的重复性和准确性。该设备非常适合多种蚀刻应用，适用于蚀刻铝、铝合金、电线和不锈钢。
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