二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9171323 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一种等离子体增强的蚀刻器/asher，用于制造业的多种工艺。这种多功能工具可以蚀刻和沉积铜、钨和铝等多种材料，以及加工专用半导体材料。该工具可用于蚀刻和灰化两种不同的加工工艺.TCP 9400配备了一个大的等离子体腔室，使其易于与多种底物一起工作。该腔室设计用于气体的最佳电离和准确设置压力、流量和温度水平的能力。各种冷却方法，从氮气和氦气，到排气流量和主动冷却，都可以保证最佳效果。该机具有直观的图形用户界面（GUI），简单易用。另外还有一些安全措施，以确保安全的操作环境。LAM RESEARCH TCP 9400配备了超压保护设备和晶圆传感系统的末端，两者都有助于防止粒子逃离腔室。该室还设有一个网络监测单元和审计跟踪，可用于访问数据日志并确保最佳性能。除了蚀刻和灰化材料外，TCP 9400还可以用于其他工艺如层上沉积、退火和多晶硅沉积。机器还有多种配置腔内压力、流量和其他参数的选项。该室还配备了先进的晶圆处理机，确保了晶圆的准确和可重复传输。总体而言,LAM RESEARCH TCP 9400是一款用途广泛且可靠的蚀刻器/asher,专为各种应用程序的高精度和高性能而设计。该机具有人性化的GUI、先进的安全和数据记录以及多种材料处理功能。TCP 9400具有多种功能,是许多半导体器件制造工艺的理想解决方桉。