二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9180718 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一种蚀刻/asher设备，用于面板和IC级平板处理。该系统能够提供超高分辨率蚀刻，使用户能够产生复杂的图样设计，只能通过使用高能束来实现。该装置配备了最先进的烧蚀室，能够产生波长从多纳米到100微米的高能光束。TCP 9400旨在提供低成本、高精度的处理功能。该机器采用两级烧蚀工艺，其中第一级涉及加热基板以产生引起所需的基板蚀刻或灰化的等离子束。第一阶段是LAM RESEARCH TCP 9400的独特特点最明显的地方。烧蚀过程的第二阶段涉及冷却基板以产生超高分辨率蚀刻。这个过程涉及使用自上而下的脉冲激光器，将短爆发的高能光束传递到基板。这样就得到了干净、精确的光洁度。该工具还能够控制高达750纳米的蚀刻深度。最后，TCP 9400还能够进行广泛的涂层操作。这包括提供广泛的处理，如旋转涂层，喷涂涂层和后蚀刻涂层操作。这些过程用于提高图样分辨率和均匀性，同时提供坚固的耐腐蚀性。综上所述，LAM RESEARCH TCP 9400是为面板和IC级平板处理设计的高精度蚀刻器/asher资产。它配有烧蚀室，能够产生多波长的高能光束，产生超高分辨率蚀刻。此外，它还提供了许多涂层工艺，以进一步提高图样分辨率和均匀性，并具有坚固的腐蚀保护。