二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9180765 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是为半导体制造中的FEOL（前端线）工艺而设计的高性能蚀刻和asher工具。其先进的多频谐振技术能够同时进行反应性离子蚀刻和氧化，实现高容量生产力。TCP 9400具有大的加工室，基板面积较大。这样可以确保均匀的基板载荷,提供高的生产率和吞吐量.腔室还利用静电捏电压技术，提供了一个统一一致的蚀刻工艺。挤压还有助于最小化可变性,从而改进分析。该工具还具有低频功率变频功能，有助于降低边缘和角落过度蚀刻的风险。这提高了工艺精度并提高了产量。LAM RESEARCH TCP 9400提供了保证均匀蚀刻和氧化的均匀源分布。它还利用偏置来提高蚀刻选择性，并快速去除基板上的图样特征。该工具先进的控制技术允许用户像射频电源和定时那样精确监控和调整条件。这有助于用户优化蚀刻条件，使工艺适应基材或特征尺寸。TCP 9400还包括快速循环时间。这允许高吞吐量的生产。此外,该工具还具有内置诊断功能,能够快速检测和恢复故障。这使得它适合生产环境。它的高级软件功能还允许简化流程优化、数据记录和配方编辑。LAM RESEARCH TCP 9400是一款功能强大、用途广泛的蚀刻器和asher工具,旨在满足FEOL市场的需求。它的高级功能提供了出色的处理能力和吞吐量,同时允许更好的过程控制和优化。