二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9226361 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一款先进的多功能机电蚀刻器和asher设备。这一项技术是专门设计的，用于对半导体、集成电路、微电子元件等基板上的特征进行精确蚀刻。TCP 9400能够以非凡的速度和精度级别对材料层进行Ashing、清洁和蚀刻。LAM RESEARCH设计了该系统和智能控制技术,使其能够在低温（<430C）下达到5 nm厚度控制精度。这个蚀刻器/asher使用了一个紧凑的烧蚀晶片加工室，带有一个空间上可配置的气体矩阵，使各种各样的工艺配方和技术节点得以实现。它还具有先进的可调脉宽调制控制器，用于精确控制晶圆过程的能量输入。这使其能够在操作过程中获得稳定的工艺结果，并快速进行反应性离子蚀刻、化学气相沉积、偏置等工艺。LAM RESEARCH TCP 9400装有一个既有温度又有自调节的石墨热板，以提供基板的均匀加热。然后定期监控此温度,并根据配方和工艺类型为客户定制温度范围。为了提高精度和安全性,此蚀刻工具具有一个对峙检测器,可连续检查目标与晶片卡盘之间的适当距离。它还有一个先进的安全单元，包括可以检测过程故障的联锁；热板、真空泵、供气管线等部件；以及火焰离子探测器，用于监测蚀刻过程中排放的Radwaste气体。在性能方面,TCP 9400能够处理直径不超过6英寸的大型基板,并具有允许同步加载和卸载晶片的高通量流量机器。它自动跟踪室室的温度、压力和气体流量等指标，以确保整个运行过程稳定。LAM RESEARCH TCP 9400是一种有效的蚀刻和asher工具，有利于蚀刻集成电路、薄膜金属化、复合半导体材料、Pyrex玻璃、低k介电层等工艺。它具有精确的厚度控制精度和精确的温度控制能力，特别适合于半导体器件的制造。