二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9226362 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是半导体器件制造中使用的蚀刻器/灰化器，用于器件成型过程中的特定材料层。TCP 9400利用Technology Communication Protocol （TCP）接口将流程工具联网,使它们能够相互交互,并协调诸如气流、温度、时间和压力等参数,以实现最高的流程性能。LAM RESEARCH TCP 9400可以蚀刻或粉刷500 mm尺寸的基板,具有获得专利的ZRide™平台,可提供稳定、低摩擦的运动,并在加工面高度上保持紧密的晶圆图样,这对于晶圆面的重复性和工艺均匀性非常重要。TCP 9400利用LAM的 技术,利用快速反应阀门精确启用和禁用过程气体,以快速实现可重复的过程结果,并针对特定的工作要求进行微调。该设备还配备了动态Inerting™，能够快速切换惰性气体和加工气体，以快速响应工作要求的变化，并为真空过程提供高度的控制和统一。该系统还配备了一个专有的自动化晶片处理单元，允许单晶片和作为晶片批量处理，以及一个低压负载锁（LPL）腔室，能够实现快速的基板预清洗和加载。LAM RESEARCH TCP 9400能够在一个腔室内控制多个端口,从而在端口之间控制气体的切换。为确保安全,TCP 9400配备了一套硬件和软件安全功能,可防止未经授权进入加工室以及监控温度、压力和湿度水平。LAM RESEARCH TCP 9400还配备了泄漏检测机,如果工具检测到任何异国情调的材料,它将触发自动关闭和清洗。TCP 9400是一种用于半导体器件制造工艺的综合性的多合一蚀刻器/asher资产。LAM RESEARCH TCP 9400具有TCP接口、气流技术、动态进气功能、自动晶圆处理模型和各种安全功能,为可重复结果提供了精密的控制和精度。