二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9233832 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一款高级蚀刻器/asher,旨在提供坚固、高速、高精度的晶片蚀刻工艺。该机能够同时执行湿蚀刻和干蚀刻步骤，并对所有蚀刻参数提供出色的控制。蚀刻室包含多个反应物室或载流子室，以及一个加热模块，该模块能够维持高达650°C的干燥蚀刻温度和高达600°C的湿蚀刻温度。此外，它还有一个射频发生器，用于在湿蚀刻和干蚀刻应用中控制射频功率。该机还配备了先进的半导体加工机器人，能够在高精度蚀刻或灰分工艺中精确、快速地处理晶片。机器人能够处理4个"最多8个"晶圆。机器还包含一个包括多道具传感器室的仪表包，该室对流动、压力、温度和射频等多个蚀刻参数提供额外的控制。TCP 9400还具有基于压力的高速气体输送系统。该系统采用高压和低压气体的组合，在整个晶片上输送均匀的蚀刻或灰烬。还有一个氦气输送系统，它允许额外控制蚀刻长宽比和蚀刻选择性。机器还包含一个高级控制电子封装，能够支持手工和自动化蚀刻/灰烬过程。广泛的应用程序库为用户提供了多种手动和自动控制流程的选项。显示触摸屏还提供了直观的用户界面，使编程和监控过程变得简单明了。总体而言,LAM RESEARCH TCP 9400是一款先进、灵活、高精度的蚀刻器/蚀刻器,能够满足现代半导体加工的苛刻要求。其坚固的设计和高性能特性使其成为任何半导体制造设施的宝贵资产。