二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9243878 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一款高效、功能齐全的蚀刻器/asher,可提供最佳的过程灵活性。它是屡获殊荣的TCP系列工艺工具的成员,旨在提供卓越的研发和生产应用性能。TCP 9400提供了包括聚合物、金属、有机物和陶瓷在内的所有金属和电介质的精确且可重复的工艺。LAM RESEARCH TCP 9400非常适合于厚度在1.4mm至4.5mm之间的晶片的蚀刻和剥离。TCP 9400 蚀刻器/asher提供最大的工艺灵活性,包括各种工艺气体、基材和卡盘温度。它有各种不同的流程模块，可以方便地为不同的流程定制蚀刻器。对于基于等离子体的工艺，LAM RESEARCH TCP 9400与专利PlasmaTuner™模块的使用提供了极好的一致性。等离子体调谐器模块精确调整等离子体源的输出功率，以实现卓越的均匀性和过程控制。TCP 9400还包括用于流程自动化的最新软件和硬件。它具有集成的外围设备集成的过程控制功能,以及一整套软件和硬件,可让客户快速轻松地对其过程进行编程。LAM RESEARCH TCP 9400旨在实现最终的可重复性和可重复性,从而获得一致、可靠的结果。它为优越的空气热交换提供双独立滤波器，使整个腔室的热梯度最小化，提供比竞争系统好20倍的均匀性。TCP 9400还采用了水环泵,以高效、一致的方式输送清洁过程气体。总体而言,LAM RESEARCH TCP 9400 蚀刻器/Asher为各种基材的高效蚀刻和剥离提供了卓越的工艺灵活性和控制。它非常适合要求精确、可重复性和可靠性的研发和生产应用。