二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9262479 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一种用于半导体器件制造过程中关键薄膜和基板的高通量和可靠处理的蚀刻器/asher。它在一个易于维护的平台中提供优化的蚀刻、灰化和剥离功能。TCP 9400通过使用高热处理室和高速涡轮泵提供均匀的气体流动和最佳的热控制,提供了高效的性能。该单元可以通过提供精确直观操作的触摸屏界面进行控制。它还配备了一套功能强大的自动化功能,包括不同的步骤配置文件和配方控制。这使得它非常适合最具挑战性的蚀刻任务。LAM RESEARCH TCP 9400还配备了先进的安全功能和严格的污染控制。它密封并独立控制铝电池，在那里添加和加工材料。铝电池防止材料污染，也为蚀刻和清洁提供受控环境。此外，该装置还装有泄漏探测器和压力控制安全装置，以确保危险材料或微粒不会从密室中逸出。TCP 9400还配备了先进的材料处理，包括远程HF传感器控制、CDW浓度控制以及集成加载系统。通过所有这些功能,LAM RESEARCH TCP 9400提供了对蚀刻和清洁过程的精确而高效的控制,同时确保安全和消除污染。TCP 9400是任何需要高性能、可靠的蚀刻器/粉碎器的洁净室或制造工厂的理想选择。它的稳定性、自动化能力、污染控制和安全特性使其成为任何精密或大规模蚀刻操作的绝佳选择。