二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9313523 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一种高精度、高通量的蚀刻器和光掩模生产及其他光刻应用。这种Benchtop 蚀刻器/asher提供了卓越的工艺均匀性和可重复性,并且由于其精确的设计,能够提供卓越的蚀刻性能。TCP 9400设计有湿蚀刻和干蚀刻，以及反应性离子蚀刻（RIE）腔室选项，以适应不同光刻工艺的蚀刻需求。例如，湿蚀刻室可用于硅片的深蚀刻，而干蚀刻室则用于高长宽比的薄沟槽。此外，RIE选项可用于蚀刻更精确的特性，如电路线路和触点。LAM RESEARCH TCP 9400还设有端点检测器，可监控蚀刻过程，并可针对不同蚀刻速率进行调整。这样可以更好地控制和优化蚀刻结果。这种蚀刻器/asher的最大蚀刻速率也是可调的，这取决于蚀刻工艺和材料。TCP 9400还配备了先进的实时基板温度控制设备。例如，它可以保持摄氏4至400度的温度范围。温度控制减少了热膨胀和收缩造成的误差，导致蚀刻操作精度更高。它还具有一个自我校准系统，以确保在不同基板上一致的蚀刻深度。LAM RESEARCH TCP 9400还有一个配有显示屏和可调参数的控制控制台，用于曝光时间、基板温度、蚀刻速率等设置。这允许用户轻松自定义其蚀刻操作。它还具有屏幕上的配方创建者,使用户能够为特定的光掩模生产应用程序选择适当的蚀刻配方。TCP 9400是蚀刻和灰化相关工艺的安全可靠选择。蚀刻器/asher的设计具有安全特性，如紧急停车和电子控制的联锁装置，以避免危险情况。还配有空气滤清机，保证蚀刻环境的清洁度。此外，它还设计了一个负载锁和一个清洁工具，以确保快速批对批传输。总体而言,LAM RESEARCH TCP 9400是一款可靠、高精度的蚀刻器和粉碎器,旨在优化蚀刻和光掩模操作。其卓越的蚀刻性能、高精度的温度控制资产和安全特性，使其成为蚀刻和灰化应用的高效可靠的选择。