二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9364645 待售

LAM RESEARCH TCP 9400 asher/etcher是一种反应性离子蚀刻（RIE）设备,设计用于使用CF4、NF3,SF6和O2等多种化学方法对具有挑战性的材料进行干蚀刻。该系统能够以高度可重现和可重复的方式蚀刻基板上的特征。它可以在平面和三维形式上以可追溯的特征尺寸精度和均匀性进行蚀刻。它配备了最新的两室技术-LaB6和新的WFMS室.该LaB6代表"低压声屏障蚀刻"，非常适合于氟化的、硅和掺杂的硅蚀刻。最近增加了新的WFMS腔室，代表"广域场质谱"，是设备和图桉化晶圆级处理的理想选择。TCP 9400 蚀刻器/asher利用先进的介质输送系统,可精确输送气体和化学物质。它还以气流控制单元（GFCS）为特色，具有"总量"和"局部"气体星云控制。此外，这两个会议厅都提供了远程监测能力，从而能够进行流程控制和流程数据反馈。LAM RESEARCH TCP 9400 asher/etcher还具有高度先进的晶圆传输能力。晶片可以使用半自动晶片装卸机运输进出两个腔室。这种方便的工具允许安全、自动化和计量检查晶圆处理。TCP 9400 asher/etcher设计有一个自动运行的计算机驱动器。此功能保证了无故障操作,并消除了对任何类型编程的需求。该资产提供了快速的晶圆检索和卸载时间，设计用于广泛的批处理和单个晶圆过程。它还利用新型等离子体发生器、低热负荷、自动检测晶圆取向和侧壁蚀刻能力。LAM RESEARCH TCP 9400 蚀刻器/asher是控制和执行快速蚀刻过程的宝贵资源。其丰富多样的高级功能使其非常适合生产高质量、高可靠性的零部件。它非常适合对各种材料进行快速、精确的蚀刻，包括纯硅晶片、树脂涂层晶片、绝缘子硅（SOI）晶片、金属氧化物半导体晶片（MOS）晶片和各种其他沉积材料。