二手 LAM RESEARCH TCP 9400B #9402507 待售
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LAM RESEARCH TCP 9400B是一种专为半导体器件制造而设计、工艺控制要求严格的高精度蚀刻器和asher。TCP 9400B凭借其获得专利的燃气柜,能够产生比其他型号更快、更均匀、吞吐量更高的结果。它提供业界领先的性能和可靠性,非常适合任务关键型应用程序,如MEMS、RF、Advanced FTIQ和纤薄晶圆处理。LAM RESEARCH TCP 9400B的气柜技术在通过腔壁吸入气体分子时清除气体分子，从而提高了蚀刻的均匀性和速度。这种改进的过程控制意味着更小的底切、更好的轮廓一致性和更少的空隙。一个专利的三角相移磁控管源提供了超过95%的均匀性，为厚膜蚀刻。先进的PID控制系统具有自动调频功能，并采用真实的模型对蚀刻条件进行连续监控。机器有一个卡盘和两个处理室，允许用户在同一个作业中蚀刻和粉刷而无需离开系统。它支持2到6英寸的基板尺寸,旋转速度高达11,000 rpm。工艺温度范围介于-10°C和+400°C之间，确保与几乎任何类型的蚀刻和灰化工艺兼容。其他功能还包括24位内部彩色液晶显示屏、带有网络可寻址远程控制（NARC 2）协议的以太网连接、获得专利的低消耗电源设计以及大量安全系统,包括集成的突发压力通知系统和静电放电（ESD）保护。TCP 9400B提供卓越的可靠性、准确性和可重复性。其先进的工艺控制技术和创新的设计使其成为精密蚀刻和灰化应用的理想选择。
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