二手 LAM RESEARCH TCP 9408 SE #9014916 待售

LAM RESEARCH TCP 9408SE Asher是一种高度精确、中等负荷、蒸气相湿蚀刻工具,非常适合处理批量生产和工艺开发的要求。Asher提供了当今终极光掩码过程所需的精度、吞吐量和可重复性。它旨在以最低的用户工作量和最短的工艺周期时间来处理各种特殊的工艺复杂性和高档生产。它比其他蚀刻系统具有许多优点，包括对工艺参数的自动精细控制，如流速、温度、压力和循环时间。它采用了蒸气绝热蚀刻工艺，提供了一致、最优的蚀刻工艺。这样就消除了手工工艺条件优化的难题.超精确的数字流量控制可确保最大允许蚀刻速率,而不会使临界尺寸均匀化。温度和压力的稳定性为蚀刻速率和基板温度提供了一个广泛的过程窗口。它具有基于Windows的直观触摸屏用户界面和流程日志,可实时监控蚀刻流程条件,而无需手动监控流程。Asher可靠、经验证的DV12工艺技术提供卓越的性能和真正的工艺多功能性,并以三年有限保修为后盾。它设计灵活、紧凑，易于安装，与传统的湿蚀刻系统相比空间最小。Asher可与电源晶片加热器配合使用,并可将温度、压力和流量控制直接传送到前面板。它为各种蚀刻化学提供了一个集成的、自动化的源-气输送系统，在循环之间自动清除腔室，并在蚀刻过程中自动控制压力和温度。TCP-CN-9408SE Asher还配备了开机安全开关和紧急关闭开关。Asher还提供了使用用户手册存储工艺配方的功能,从而能够快速切换工艺化学或工艺参数。这确保了全过程的可追踪性和可重复性，使其适合制造大批量、复杂的光掩模。TCP-CN-9408SE Asher是实现客户吞吐量最大化、拥有成本最小化的理想解决方桉。