二手 LAM RESEARCH TCP 9408 SE #9178705 待售
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ID: 9178705
晶圆大小: 8"
优质的: 2004
Poly etcher, 8"
Software version: 1.6.012A
SMIF System: (2) ASSYST
Process chemicals: SCCM
(1) AC Power box
(2) RF Racks
TCP RF Match part no: 853-032294-002
Bias RF match: 853-330951-001
ESC Power supply: 810-017086-018
Chamber manometer MKS make (All): E29B-23813
Turbo manometer MKS make (All): 625A-14375
Ref manometer MKS make (All): 625A-14059
Turbo pump: STPH1301L1B
TCP RF Gen.AE make(All): 660-024637-006 RFDS
Bias RF Gen.AE make( All): 3155027-003 B
Wafer drag back: Enable
Wafer offset alignment alignment: 310
Gas ring capacitance: 1300+/- 15 pf
Software version: 1.6.1
MFC Config.CL2-200 sccm: 200
MFC Config.O2-100 sccm: 100
MFC Config.HE/O2-20 sccm: 20
MFC Config.CF4-100 sccm: 100
MFC Config.HBR-500sccm: 500
MFC Config.SF6-100 sccm: 100
MFC Config.HE-500 sccm: 500
MFC Config.CL2-30 sccm: 30
TCP Coil position: 8 O'CLK
Turbo pump capacity: 1300L
Vat valve / Pendulum valve: Pendulum
2004 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9408 SE是一款功能强大的独立蚀刻器和asher设备。它是一个高性能的硅片蚀刻器和asher系统，专门为满足半导体行业最苛刻的要求而设计，同时为用户提供了处理各种材料的能力。该单元由一个精密工程、高度自动化的平台组成，该平台配备了高速、高品质的旋转蚀刻头，提供了高超的等离子体均匀性，减少了蚀刻时间。该机的特点包括温度控制的涡轮泵，使蚀刻和灰化具有最大的重复性和均匀性，以及高端工艺控制，为用户提供精确控制蚀刻速率、过度蚀刻、薄膜厚度和端点的能力。TCP 9408 SE还配备了一对先进的板载QCM/PCM/FIB探测器和板载质谱仪，提供精确的端点检测，确保精确蚀刻和灰化。此外,该工具是完全可编程的,允许用户创建各种配方并存储它们,以及快速回忆它们,并在最短的停机时间内执行蚀刻和灰化。用户界面直观、用户友好，使操作员能够方便地控制和监控整个过程。此外,用户界面中还提供了一系列诊断和流程监控工具,从而可以选择和查看最佳整体流程。LAM RESEARCH TCP 9408 SE提供精确而稳健的蚀刻和灰度处理,使用户能够在不牺牲流程吞吐量的情况下实现最高级别的流程一致性。该资产非常适合蚀刻和灰化工艺,如硅蚀刻、应力减轻和掺杂溅射,并为所有类型的材料（包括III-V和高k介电）提供卓越的性能。总体而言,TCP 9408 SE是一款出色的蚀刻器和asher模型,进一步提高了半导体制造的工艺重复性、生产率和质量。
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