二手 LAM RESEARCH TCP 9408 SE #9178710 待售

LAM RESEARCH TCP 9408 SE是一种精密蚀刻器/灰化器,具有先进的热控制设备,可提供可靠的蚀刻、灰化和组合蚀刻/灰分工艺。该系统具有水平硅化室壁，以减少机械冲击、平整和用纯净水冲洗。它配备了用户友好、直观的图形用户界面（GUI）,大大简化了操作。该装置设计用于加工各种基板，包括金属、硅、陶瓷和玻璃。TCP 9408 SE具有提供恒压和温度控制的氦气冲洗机。该工具的设计最大吞吐量，具有快速的工艺周期时间，每小时最多14个腔室周期。蚀刻/灰分处理时间为5至7分钟,具体取决于基材类型和工艺参数。此外，该资产最多有5种工艺配方，使用户能够为不同的应用保存和召回配方。LAM RESEARCH TCP 9408 SE具有坚固的设计,能够容纳更大的零件和更高的蚀刻/灰烬负载。该模型能够处理多达2公斤的材料，负载大小为4至6厘米。它还包括侧向、机动式腔室和覆盖运动，以适应不同尺寸/形状的部件。TCP 9408 SE设备具有高分辨率工作室，具有1微米加热级。加工室采用电子加热，温度范围高达1050 °C。此外，系统有加热级的可选冷却，冷却范围为-60 °C。该单位提供对蚀刻/灰烬参数的全面监测和控制；氦气冲洗压力、温度和冷却速率。它还有一个自动循环停止和气体管理机器，用户可以在那里监控过程参数和循环时间。LAM RESEARCH TCP 9408 SE具有多种安全特性，包括安全锁盖、双夹密封O形圈密封、联锁超载检测、故障隔离工具等。该资产是为最佳的危险环境控制和用户安全而设计的，配备了一系列保护性警报，并提供了额外的屏蔽。总之，TCP 9408 SE是一种具有先进热控制模型的可靠、鲁棒性的蚀刻器。它提供了多种工艺参数和安全特性,具有快速的工艺周期时间和高吞吐量。该设备能够处理各种基材，具有高分辨率的工作室和用户友好的GUI。