二手 LAM RESEARCH TCP 9600 CFE #293809929 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 CFE是一种高性能、全自动的蚀刻/灰化设备,设计用于半导体器件制造中复杂的表面图样的生产。此高效系统可增强对处理参数的控制,以便在广泛的应用程序中实现统一的蚀刻/灰化结果。该机的主要部件包括真空处理室、晶圆传输机器人、工艺和排气泵、面板控制器和计算机化数据采集单元。控制器为用户提供对所有操作的完全命令访问权限。LAM RESEARCH TCP 9600CFE可以配备一系列可选功能,例如1X和1X/2X变焦放大功能,以增强图样分辨率。真空机利用一个V139的两级滚动泵位于工艺室内，与额外的滚动泵在排气室内。这些泵为用户提供了对腔室压力的精确控制以及波动监测。晶圆传输机器人是一个完全集成的精密设计的手臂组件，能够同时维修单个晶圆和带状传输基板。配备安全联锁和接近传感器，机器人提供安全、准确的晶圆处理。主室由面板控制器和信号分配工具操作，与用户的个人工作站集成。步骤编辑器提供了分步编程和监视,它提供各种类型的通告输出,使用户能够逐步修改腔室参数。这样可以确保过程均匀性的最大精度和均匀性。这种蚀刻/灰化资产的应用包括用于扩散和浅沟隔离（STI）的蚀刻工艺，包括介电材料如氧化硅、氮化物、聚酰亚胺、硼磷硅酸盐玻璃和氧化铝，以及金属蚀刻如铜、钨和金。此蚀刻器/asher在复杂的蚀刻和灰化要求方面提供了卓越的控制和准确性。TCP 9600 CFE 蚀刻器/asher是一款功能强大的机器,旨在提供卓越的表面图桉质量和快速的吞吐量。TCP 9600CFE具有多区域功能、先进的机器人技术和精密仪器,是满足您的蚀刻和灰度要求的绝佳选择。