二手 LAM RESEARCH TCP 9600 CFE #293809931 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 CFE是一种在半导体制造过程中用于加工晶片的蚀刻器/灰化器。它是TCP蚀刻器和分页器系列的一部分,其设计目的是在不影响吞吐量的情况下实现高质量的晶圆处理。LAM RESEARCH TCP 9600CFE提供高速腔室,并具有自动晶圆跟踪功能,以及精密的腔室电导功能,可精确调整蚀刻和灰分配方。这使得在晶片上创建的薄膜结构具有极好的控制和均匀性。TCP 9600 CFE腔室具有广泛的可调参数，使得从多晶硅到低k电介质的各种材料都可以进行加工。该腔室还具有一个大的、均匀的等离子体腔室，能够实现高蚀刻速率。该室包含两个独立的蚀刻器和灰烬，能够同时处理两种不同的材料。该室还具有先进的自动化和精确的温度控制，允许精确和一致的蚀刻结果。TCP 9600CFE 蚀刻器/asher被设计为与最先进的Lam Washer System结合使用，该系统在加工后提供优越的晶片清洁和干燥。Lam Washer System具有内置的内存、诊断和故障排除功能,使其成为一致可靠地处理高密度薄膜层的绝佳解决方桉。LAM RESEARCH TCP 9600 CFE是在晶片上创建的薄膜结构实现高通量、高可重复运行、高均匀性的绝佳工具。其先进的自动化、精确的温度控制以及广泛的可加工材料,使其成为半导体器件制造等应用的理想解决方桉,在这些应用中,必须对高密度层进行蚀刻或粉刷。其用户友好的界面和可靠的性能使其成为那些需要高质量蚀刻和灰化效果的人的绝佳选择。