二手 LAM RESEARCH TCP 9600 CFE #9296670 待售

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ID: 9296670
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Metal etcher, 8" DSQ Chamber Stand alone Handler type: Auto loader EQUIP Robot type End effecter SEMI: E84 AC Dist box Pre-aligner ESC Cables included 1997 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 CFE是由LAM RESEARCH Corporation开发的高级蚀刻器/asher。该设备采用了最新的蚀刻和灰化技术。它具有超高的生产率设计,并提供易于使用的平台,方便快速可靠的蚀刻和灰化过程。LAM RESEARCH TCP 9600CFE重量轻,但高度耐用,采用闭环低压操作,有助于确保一致的蚀刻和灰化过程。它在各种基板上具有高度均匀的沉积,并通过三个彩色摄像机组成的网络进行固态光学数字发射控制。这种数字排放控制系统有助于确保一致和可靠的结果。TCP 9600 CFE配备了三个高效电光头,利用先进的等离子体火炬技术,采用离子束提取装置进行最高质量的蚀刻和灰化工艺。这样可以使基材降解最小,实现细线蚀刻和高长宽比灰化。TCP 9600CFE是一个可扩展的模块化平台,可以升级以适应单晶片或批处理,并提供高效的晶片到晶片同步。它还提供多位置基板定位,可以轻松与气体输送和排气等其他支持系统集成。总体而言,LAM RESEARCH TCP 9600 CFE是由LAM RESEARCH Corporation设计和制造的高级蚀刻器/asher。它是一种轻巧耐用的机器,在各种基板和三个高效电光头上均匀沉积。它也是一个可扩展和模块化的平台,可以升级以适应单晶片或批处理,并容易与气体输送和排气等其他支持系统集成。
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