二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #148436 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是一种先进的蚀刻器/asher设备,专为先进的微加工工艺而设计。它提供了温度和工艺参数的精确控制，使精细基板的蚀刻和灰化，同时保持精确的温度和工艺参数。LAM RESEARCH TCP9600系统基于气团离子源，内置在单元中，提供精确、低电压、大电流的电源。此外，机器还设计了两个可移动的晶片支架，设计用于后蚀刻和后灰应用，以提供工具的灵活性。持有人设计的晶圆尺寸可达200毫米，可容纳0.2到0.6kV之间的工艺配方。该资产还具有温度和散热控制能力，可以在蚀刻或灰化操作中限制基板的温度。这一特性对于尽量减少因高温造成样品损坏的可能性也很重要。该模型配备了一种惰性气体大气，通过反应大气中的物质来防止底物受到污染。它可以根据用户指定的配方提供受控参数。TCP-9600还具有高级编程功能,允许用户指定蚀刻参数、选择气体、启用/禁用和选择气流、启用/禁用超高频电源以及启用/禁用群集和束离子控制。用户甚至可以设置单个蚀刻和灰烬参数。最后,TCP 9600的设备软件提供了一个直观的用户界面,用于配置和监视蚀刻和灰化操作。总体而言，LAM RESEARCH TCP-9600是一个高品质的蚀刻/灰化系统，提供精确的温度和过程控制。它的高级特性使它能够在各种各样的基板上创建高质量的结构和图桉，使其成为先进的微加工工艺的理想解决方桉。