二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #293762298 待售

ID: 293762298
晶圆大小: 8"
Metal etcher, 8" (3) RFG 1251 Generators ADIXEN / ALCATEL 1300 Turbo pump ADIXEN Turbo controller VAT 65 Gate valve VAT PM-7 Controller ESC Clamping Dual endpoints: 703 nm and 520 nm Bulk head mounting Hine indexer Closed loop RF Match: Upper TCP, lower mini match, DSQ Match DSQ Hinged WVDS Auto fill STEC 7440 MFCs APM: Standard Gases: Gases / SCCM CL2 / 200 BCL3 / 100 SF6 / 100 N2 / 50 N2 / 1000 AR / 100 O2 / 1000 CF4 / 200 H2O / 500.
LAM TCP 9600是一种工业蚀刻器/asher,设计用于高通量半导体制造中的精密蚀刻/灰化。它利用直观的用户界面提供一流的控制、准确性和可重复性。该设备配备了最先进的光学对准系统,可确保精确的蚀刻和灰化执行。该设备采用高分辨率、高速的数字成像仪,可捕获最高质量的图像。它还包括先进的光学和软件,允许用户在没有额外硬件或附件的情况下,轻松准确地定位自己的底物进行蚀刻/灰化。该机还配备了LAM专有TCP 9600控制器。该控制器包含32位ARM-Core内部处理器,以及一组丰富的数字和模拟信号输入和输出,用于与各种设备接口,如PID控制器、温度传感器和电动机。该工具包括一整套软件应用程序,允许用户自定义资产设置、监视活动和实时进行更改。控制器能够充分利用LAM高级通信协议,包括TCP/IP、以太网、USB和RS 232协议。这使得模型可以很容易地与其他计算机和设备联网。这些通信协议允许设备连接到各种控制系统,从而使用户能够灵活地定制其使用情况,并以各种方式配置系统。该单元设计用于对各种材料(包括金属、合金、聚合物、半导体和磁性材料)进行快速高效的蚀刻/粉刷。该机器能够支撑范围广泛的温度,最高可达110°C (230 °F),以精确控制蚀刻过程。该工具还具有若干安全功能,以保护用户免受潜在危害。除了可靠的可靠性外,LAM TCP 9600还提供卓越的性能和精确度。该资产的精度可降至0.1 μ m,蚀刻速率范围为0.00001至100 μ/分钟。该模型还提供了对深度和角度的精确控制,以及出色的选择性,使用户能够获得出色的蚀刻结果。TCP 9600确实是一种革命性的、最先进的工业蚀刻器/asher,它提供可靠而精确的蚀刻和灰化功能。它是高通量半导体制造的理想解决方桉,为所有类型的应用提供了出色的控制、精度和可重复性。
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