二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #293805103 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是一种用于半导体工业的等离子体蚀刻器/asher设备。该系统被设计成精确的图桉和蚀刻或粉刷表面具有很高的重复性和准确性。LAM RESEARCH TCP9600采用两个单独的源室，可单独配置，从而优化介电、金属和氧化硅材料的蚀刻速率。该装置采用了一种基于LAM RESEARCH专有的低压感应耦合等离子体源的复杂高效的新工艺。等离子体源允许对金属层、氧化硅和氮化物材料的结构进行高精度蚀刻和灰化。该机器的创新源室旨在创建高纯度和可靠的工艺结果,确保一致的性能并提供经济高效的解决方桉。全自动系统提供了高度的过程控制和反馈,从而降低了成本并延长了正常运行时间。TCP-9600还具有广泛的LAM RESEARCH软件功能,可轻松准确地设置流程配方、执行和流程优化,从而确保最佳蚀刻结果。LAM TCP 9600能够以经济高效的方式以极好的精度和可重复性对介电、金属和氧化硅材料进行蚀刻和灰化。两个独立的源室，集成自动化和通用控制工具允许快速和方便的过程设置执行。蚀刻室还配备了负载锁，可选的外部和后部负载锁系统允许高吞吐量。独特的等离子体源设置可实现环境友好、低消耗的工作流程,以及高流程均匀性、可重复性和稳定性。此外,该资产还具有独特的排气处理功能,几乎不需要维护,这既有利于环境,又具有成本效益。总体而言,TCP9600 蚀刻器/asher是一种先进的模型,其设计目的是在处理介电材料、金属材料和氧化硅材料时确保精度、重复性和准确性。两个源室，即通用控制设备和精密的过程控制和反馈，提供了一个经济高效的解决方桉。该系统还允许简单的配方设置和执行以及优化过程以获得最佳蚀刻结果。LAM RESEARCH TCP-9600以其环保的设计和低维护设置，是一个可靠且经济实惠的半导体材料蚀刻和灰化装置。