二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #293809935 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是一款功能强大的蚀刻器/asher设备,旨在精确、高通量地处理晶片。它配备了坚固、精确的闭环蚀刻系统，能够以精确的温度控制和精确的循环时间处理全自动生产。该装置具有一个完全可编程的板载源/排水植入物源，可为每个半导体器件制造过程量身定制。这台机器能够处理具有广泛材料和应用的高速蚀刻和灰化操作。LAM RESEARCH TCP9600是一种模块化、高精度的蚀刻和灰化工具,可根据应用程序进行各种蚀刻和灰分操作。它采用单室设计，带有专用的蚀刻和灰烬室，温度范围可达500 °C。该资产还配备了重型精密电机，允许精确控制蚀刻速率。它还包括许多先进的可编程功能，用于精确控制灰度、流量和压力。TCP-9600还提供高速和吞吐量,提供高达200 mm/min的蚀刻速率和高达400mm/min的灰分速率。该模型的设计可容纳多达八个工艺，每个工艺具有三层深度和七层蚀刻。它还具有全面的模式覆盖,具有自动边界检测、侧壁剖析和过度切割保护等功能。TCP 9600是可靠的设备,旨在确保生产过程中的最大正常运行时间。它配备了记录活动和事件的高级流程跟踪系统，可用于监控单元性能。为了便于维护，TCP9600还配备了一个自我监控机器，对蚀刻室、安全阀和电机进行定期测试。LAM RESEARCH TCP-9600是一个可靠可靠的蚀刻和灰化工具，提供精确的材料加工和高吞吐量。它是一种适用于现代半导体器件制造工艺的高适应性解决方桉，其精密蚀刻和灰化的先进特性使其成为各种工业应用的理想解决方桉。