二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #293809943 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是专门为大容量等离子体处理而设计的蚀刻器/asher。它建立在一个双腔室平台上，允许同时对多种基板进行等离子体蚀刻，并能够在腔室之间快速切换进行批量操作。该工艺室设计可容纳直径最大为8英寸的两种基材尺寸，并配有8个工艺气体输送设备，允许严密的工艺控制。集成真空系统提供低颗粒污染水平和大线性移动射频天线缩短蚀刻时间。抛光不锈钢腔室可确保最低限度的维护和较长的使用寿命。LAM RESEARCH TCP9600配备了控制软件，使整个蚀刻过程自动化，并监控每个步骤。主控制控制台提供了易于操作的图形用户界面，并带有用于远程监控的以太网直接连接。它还包括一个标准配方设置库，为用户提供一组预先编程的配方来开始蚀刻作业。用户可以访问配方库,更改参数并将其保存在内存中。此外,网络连接允许远程监视和控制多个设备。该机组进一步配备了500W射频发电机，提供等离子体蚀刻过程所需的能量。多模式操作使它能够在硬蚀刻和软蚀刻模式下工作。射频辐射的独特锁存机还允许TCP-9600在一致的压力下运行，在多个基板上提供均匀的蚀刻。LAM RESEARCH TCP-9600采用自动气体溷合工具，内置气体溷合歧管和两级直线闸阀，以确保准确的溷合和易于维护。多区域溷合技术允许用户根据正在蚀刻的材料来调整配方设置。亚微米、高分辨率的3D成像技术保证了高质量的图样形成。内置真空资产有助于最大限度地减少气体和化学物质的暴露，而嵌入式软件提供警报保护和易于维护。总体而言,TCP9600提供了可靠、用户友好的蚀刻模型,可满足任何大批量生产的需求。凭借强大的性能和先进的特性，该设备在精确度和精确度上均优于竞争对手，成为制造商的理想选择。这些特性使其成为那些希望在等离子体处理操作中获得最高效率和价值的人的必备产品。