二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #293815236 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是一款先进的蚀刻器，或称asher，设计用于半导体工业中光刻、电介质、聚酰亚胺等可蚀刻材料的高级蚀刻、剥离和沉积。它适用于高批量和低批量批处理过程以及过程开发和低成本原型制作。LAM RESEARCH TCP9600为其应用提供了多种工艺功能,如高质量的图样蚀刻、高速率蚀刻、均匀沉积和反应性离子蚀刻（RIE）功能。在操作中，TCP-9600蚀刻器配置有两个独立的等离子体源腔室和两个独立的端点控制系统。等离子体源通过气态分布阀连接到排气歧管，允许用户对每个腔室的工艺参数进行编程和控制。这允许用户定义几乎任何蚀刻和沉积过程参数，如气体流速、温度和压力水平，以达到预期的结果。端点控制设备监视腔室中的过程。TCP9600蚀刻器采用微波等离子发电机和先进的控制系统。它使用该单元同时控制腔室压力、温度和其他工艺参数。微波发生器可实现更高速率的过程，同时允许使用多个腔室。先进的控制机在蚀刻和沉积过程中提高了工艺的稳定性和准确性。TCP 9600蚀刻器还包括用于测量蚀刻和沉积速率的高级工艺传感器阵列,可提供高水平的工艺控制和反馈。此外,它还可以连接到计算机进行远程操作和数据存储。LAM RESEARCH TCP-9600能够使用多达9种气体，并且可以在蚀刻室中编程多达7种气体流动。总体而言,LAM RESEARCH TCP 9600蚀刻器是一种先进的蚀刻和沉积工具,既适用于高级大批量批处理,也适用于低成本原型制作。它提供了出色的过程控制、高处理率和广泛的过程传感器,以确保最高质量的结果。