二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #293824138 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是一种自动化的等离子体蚀刻器/asher，设计用于从基材中精确去除软材料。LAM RESEARCH TCP9600包括高级功能,可为蚀刻应用程序提供卓越的工作效率和性能,从而提高吞吐量并缩短周期时间。TCP-9600 蚀刻器/asher利用双微波接口（DMI）在所有基板上提供更加一致和完整的蚀刻。这种技术几乎覆盖了基板，蚀刻速率几乎没有变化。双微波接口还允许精确的温度控制，允许一致的蚀刻性能。TCP 9600具有先进的蚀刻工具,具有大面积等离子体蚀刻室和专有的可编程气体分配设备。气体分配系统允许对整个腔室的蚀刻环境进行精确调整，从而使用户能够对蚀刻过程进行最佳控制。这导致了均匀的蚀刻过程，蚀刻速率的标准差较低。TCP9600还采用等离子体场成形技术，帮助限制对基板的表面损伤，从而实现更清洁、更均匀的表面制备过程。射频天线的使用允许广泛的等离子体场形状，允许对蚀刻进行更精确的控制。此外，LAM RESEARCH TCP-9600还包括广泛的安全系统，以确保用户的安全和合规性。这包括一个板载冷却剂单元，以尽量减少蚀刻危险，一个湿度甲板，以提供额外的保护，从微粒，和一个自动压力和温度监测机器。LAM RESEARCH TCP 9600是一款全自动蚀刻器/asher,旨在提供高精度蚀刻性能,并提高吞吐量和缩短周期时间。它提供了几种功能,使用户能够安全、精确地处理各种基板,从而实现均匀、干净的表面准备。这款蚀刻器/asher适用于广泛的蚀刻应用，旨在满足半导体行业最严格的标准。