二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #293825708 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是一种蚀刻/灰分设备，用于半导体晶片的加工和制图。该系统利用遥控电子束在基板表面上精确绘制和加工所需的结构。光束由单电子枪产生，安装在单元内部的真空室中。电子束被两个电磁线圈聚焦偏转；静电透镜和静电偏转机。电子束扫描过基板表面，根据预定义的图样有选择地蚀刻、灰烬或沉积材料。LAM RESEARCH TCP9600工具提供了广泛的功能,旨在满足半导体加工的特定需求。这些特点包括具有均匀气流和加速度资产的大型工艺舱、广泛的气体供应选择、独特设计的等离子体源室以及用于精确对准、扫描和控制光束的先进控制器。此外,TCP-9600模型还提供了一个易于使用的用户界面和直观的图形显示,允许用户在每个过程步骤之前修改和优化扫描速度和能量等参数。该设备还提供了一系列诊断工具,包括实时成像,用户可以实时监控每个流程步骤。最后，LAM RESEARCH TCP-9600蚀刻/灰分系统具有较快的处理速度，允许更高的吞吐量和提高设备产量。该单元还设计了一个灵活的架构，可以快速适应不断变化的半导体应用。这样可以确保机器的性能和可靠性,即使通过长期、大容量的半导体蚀刻和灰化也是如此。