二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #9043962 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是一种蚀刻器/asher,设计用于执行具有出色的均匀性和可重复性的挥发性、精密蚀刻和灰化过程。该设备利用最新的先进腔室技术、过程控制和支持系统，为各种应用提供最可靠的操作和高质量的结果。腔室尺寸小，允许高利用率的空间，但它能够处理腔室体积高达16立方英寸。系统使用计算机控制的硬件，允许直接设置和监控参数。它旨在最小化变形和最小化传递标记，从而确保能够获得最佳的蚀刻和灰化效果。操作员可以使用内置的软件程序设置参数以及创建程序，设备可以处理预设以及存储多达50个晶片进行批处理。此外，该机还具有基于微处理器的PID控制功能，可实现更高的精度和重复性。有了它，用户可以产生并保持整个腔室的均匀气流，这进一步有助于产生一贯的优异效果。LAM RESEARCH TCP9600还拥有一个内置的压力控制器,可方便地设置、监控和跟踪刀具压力,以及一个可编程温度控制器,可用于监控和设置最佳环境,以便进行蚀刻和灰化过程。该资产还具有就地处理能力，使得只对所有进程使用一个会议厅而不是多个会议厅更容易，更具成本效益。它还为用户提供了在全晶圆或工艺窗口利用方面更大的灵活性，以及在同一腔室中处理多层的能力。此外，该型号还配备了先进的安全包，有助于确保用户的安全，包括防火门和防火室、警告计时、过程覆盖和电弧故障检测。TCP-9600是一个可靠和高质量的蚀刻器/asher解决方桉,提供精确和可重复性、易于自动化和出色的安全措施。