二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #9176483 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是为纳米尺度范围内的精密材料加工而设计的中型批处理等离子体蚀刻器。它是一个15室系统，为包括非金属在内的一系列材料提供数字图像处理、多级工艺控制和材料硬化。LAM RESEARCH TCP9600可用于各种基材表面处理，包括脱墨、沉积、退火和蚀刻。所接受的材料范围从金属、半导体和玻璃到聚合物、陶瓷和特种涂料。它是用一个15加工室建造的，可以选择氮气、argon,pCF4和凋刻气体，可以组合使用。它还包括一个坚固的物料处理系统，具有自动样品传输和粒子过滤系统，非常适合高可重复性应用。主要用户界面是PC工作站,提供完整的流程和材料控制。所有流程都有标签,使用户能够快速轻松地为特定的材料和应用程序配置计算机。TCP-9600提供了一系列的工艺选项，包括介电蚀刻，降序，退火，沉积，和光定义。它还提供定制的变化，与可调脉冲时间，住宅和过程硬化。LAM RESEARCH TCP-9600 Etcher是精密纳米级材料加工的有力选择。它的设计考虑到了环境安全，优化了所有加工室和运输分支，以保护气体、电力和安全，同时尽量减少污染风险。TCP9600为材料加工提供了一种简单而精确的方法；允许精确控制脉冲时间、居住时间和其他过程变量,以获得所需的结果。TCP 9600具有坚固的物料处理性能、洁净室级安全性和可重复的精度,是精密纳米级物料加工的绝佳选择。