二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #9177752 待售
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已售出
ID: 9177752
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
Poly etcher, 8"
Software version: E1.5 Released
SMIF System: (2) Integrated SMIFs
Handler system: Wafer notch alignment
With (1) spatula
Process chambers:
(1) Etching
(1) Stripping
(1) Rinse / Spin dry
(1) Loadlock
(3) RF Generators: 1250W
(1) Manual WVDS controller
(1) Remote AC box
Main chambers:
(1) Turbo pump 1000 litre
With controller
(1) E-Chuck
(1) TCP RF Match
(1) BIAS RF Match
(2) RF Generators
(1) 100 sccm CL2 MFC
(1) 50 sccm BCL3 MFC
(1) 250 sccm O2 MFC
(1) 20 sccm N2 MFC
(1) 1000 sccm N2 MFC
(1) 100 sccm Ar MFC
(1) 50 sccm He UPC
Strip chambers:
(1) DSQ RF Match
(1) Heater paddle
(1) RF Generator
(1) Manual WVDS controller
(1) 2000 sccm O2 MFC
(1) 300 sccm N2 MFC
(1) 500 sccm H2O MFC
With controller
Rinse / Dry:
(1) Spin dryer with vacuum chuck
Transport
(1) Wafer notch aligner
With spatula
(2) Harmonic arm drive assemblies
Currently warehoused
1998 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600是一款先进的蚀刻/asher设备，旨在提供精确的图样和表面处理能力。LAM RESEARCH TCP9600设计用于处理直径达300 mm的晶片,但较小的晶片尺寸可通过辅助适配器处理。使用一系列高精度和高速的工艺模块，TCP-9600能够蚀刻/灰分工艺，包括湿蚀刻、干蚀刻、溅射蚀刻等等。TCP 9600采用集成腔室设计,与传统的批处理技术相比,可提供更好的直通和更短的循环时间。TCP9600配备了用于操作控制的PLC系统和各种过程控制选项,包括实时监控和远程网络访问。此外,该单元还具有一套软件流程配方,可自动控制流程参数。LAM RESEARCH TCP-9600还包括统一控制和自动补给功能,以保持所有处理站点的最佳流程性能。LAM RESEARCH TCP 9600配有一系列可选腔室,可配置用于精密工艺,包括灰度、平面化和沟槽。该机采用多种引入和提取晶片的方法，如离轴晶片检索、手动晶片加载系统、无接触晶片处理和原位SEM端点控制。这使LAM RESEARCH TCP9600能够在整个复杂室内配置领域提供统一性能。TCP-9600还具有二维成像和激光测距功能的精确位置检测。这样就可以精确地成像加工室并改善刀具的正常运行时间。此外,资产还配备了一套工艺配方,可帮助自动化精密蚀刻和灰化工艺的工艺参数。由于封闭的晶圆环境,TCP 9600提供了高水平的安全性和可靠性。该模型的设计目的是减少业务排放并符合适用的安全标准，同时还提供清洁干燥的环境。该设备由一台多功能PC/服务器提供动力,在生命周期可靠性方面提供可靠性和性能。总之，TCP9600是一个先进的蚀刻/asher系统，旨在提供精确的图样和表面处理能力。通过使用大量高精度工艺模块，LAM RESEARCH TCP-9600能够进行包括干湿蚀刻、溅射蚀刻等的蚀刻/灰化工艺。LAM RESEARCH TCP 9600配备了一系列可选的腔室,可提供统一控制和自动补充,以实现最佳的工艺性能。由于封闭的晶圆环境、精确的位置检测以及自动化的一套工艺配方,该单元还具有高度的安全性和可靠性。
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