二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #9197759 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是一款全自动的高速等离子体蚀刻器,旨在为各种材料提供卓越的蚀刻质量。该设备支持单面和双面蚀刻，可用于实现高达4微米的等离子体蚀刻深度，具有非凡的均匀性。该机利用两个具有可选功率级别的频率敏捷射频源来确保卓越的过程控制。LAM RESEARCH TCP9600采用创新的气体输送系统，保证不同压力水平下的恒定气体流动，以优化性能。该装置还配备了先进的监控机器，提供有关气流、压力、腔室温度和射频功率的实时数据。TCP-9600是LAM RESEARCH Endura™套先进半导体制造工艺设备的重要组成部分。这套精密的生产设备包括光束线系统（蚀刻/沉积、离子注入和激光退火），以创造出优质的微电子。通过集成的性能监控和过程控制,LAM RESEARCH TCP-9600可确保可重现的超净化蚀刻过程。TCP9600是为提供卓越的质量和精度在高速设计。标准配方库包含多种工艺参数，包括蚀刻速率、腔室压力、射频功率水平、气流和温度设置。直观的GUI使编程变得简单，还提供实时的过程监控。腔室设计为提供均匀、低压的环境进行最佳蚀刻，人体工程学的设计意味着维护方便直观。TCP 9600是需要蚀刻优质微电子器件的厂商的绝佳选择。该工具强大的功能、可靠性和精确度相结合,可确保高效和优化的性能。LAM RESEARCH TCP 9600是创造卓越品质产品的理想选择,具有卓越的蚀刻效果。