二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #9225269 待售
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ID: 9225269
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
Metal etcher, 8"
Includes:
Main body
Chiller
AC Rack
Rack
(2) Covers
(4) Dry pumps
(2) Cables
1995 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600是一款精密Asher，专为半导体工业的高级器件大批量制造而设计。设备是一个模块化、紧密集成的平台，具有多种工艺能力。不同模块的紧密集成创建了一个强大的过程,可最大程度地减少维护和操作复杂性。LAM Research TCP9600利用光学对准技术确保铝、凹入氧化物和敏感特征几何形状的精确蚀刻。该系统具有湿式和干式蚀刻功能，可对直径达200毫米的各种晶片进行经济高效的处理。利用两个波源和电子源，TCP-9600可以精确地将所需的蚀刻过程边际速率保持在每小时+/-0.1微米以内。TCP9600可以同时处理多达60个基板，允许灵活和定制的处理。它利用Intellifex这一先进的单元体系结构,通过自动优化蚀刻速率和端点精度来提高生产率。该机器还配备了Total Process Control,这是一种闭环工具,可监控整个过程的过程稳定性。这提供了提高产量、提高吞吐量和一致的高质量结果的优势。LAM RESEARCH TCP-9600除了具有较高的蚀刻速率和精确度外,还提供多种先进技术。具有进行多层蚀刻的能力，并部署了先进的薄膜厚度控制和真空清洗资产等碎片缓减技术。该模型还包括气体安全设备和焊接监测系统等一系列安全特征，可进一步防止危险情况发生。整个TCP 9600为半导体制造业提供了高效、高精度和精确的蚀刻解决方桉。该单元的先进能力和安全系统使其成为复杂基材大批量加工的理想之选。
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