二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #9226996 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是一种先进的蚀刻/灰化设备,设计用于各种材料的精密蚀刻和灰化。LAM RESEARCH TCP9600具有强大的设计,其优化的平台具有低功耗运行和重新循环的气体通道,可最大限度地提高吞吐量并最大限度地降低维护成本。TCP-9600提供优化的高压工艺环境,腔室尺寸为13.2 x 13.2英寸,每个循环最多可处理6个晶圆。它还有一个三模工艺室，用于优化高温、低温或环境温度过程。该系统使用易于使用的用户界面和温度过高的安全开关,确保用户友好的操作。自动化过程单元带有几个专用组件，如高性能涡轮泵、样品转换机和流量控制器/溷合器。高性能涡轮泵在预热、过程和排气阶段提供高室疏散速度。样品转移工具使晶片能够自动定位在蚀刻/灰室内。流量控制器/溷合器按程序间隔精确控制气体和工艺气体比率的组合。TCP 9600还有一个外部气体箱，里面装有阀门、流量计和气体调节器，便于添加具有适合每种应用的特定参数的工艺气体。涡轮分子泵送设备保证了高真空过程的不间断运行。LAM RESEARCH TCP-9600还提供高级软件套件,包括高端数据采集、数据分析和过程控制。这个精密的软件允许用户快速、精确地监视和调整诸如温度、压力和流量等参数，以获得最佳的蚀刻/灰分结果。TCP9600是一种先进的蚀刻和灰化模型，设计用于半导体、玻璃和其他材料的精密蚀刻和灰化。从其强大的设计、优化的平台、简单的操作和先进的软件套件来看，该设备是获得精确蚀刻/灰化结果的终极解决方桉。