二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #9243880 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是一种先进的蚀刻/灰化设备，允许对半导体材料进行蚀刻和灰化，以便将它们发展成质量最高的元件。该系统使用先进的专有技术执行高分辨率蚀刻和灰化,使其成为设备开发和工艺改进的理想选择。这台机组吞吐量高，非常适合大批量生产运行。此外，该机具备广泛的等离子体蚀刻选项，如等离子体蚀刻表面处理、氧等离子体蚀刻、感应耦合等离子体蚀刻，让客户为其应用选择最佳的蚀刻技术。LAM RESEARCH TCP9600提供对蚀刻工艺的高度控制和灵活性。该模型具有快速切换功能，用户可以快速方便地从一种模式切换到另一种模式。此外,用户可以使用可编程逻辑控制器（PLC）轻松维护应用程序所需的过程参数。TCP-9600有一台先进的冷却水机，处理效率高，在蚀刻和灰化过程中有助于保持温度。此外,该工具还具有集成端点监视（EPM）功能,以确保部件已完全蚀刻。用户界面也非常直观和用户友好，允许简单而高效的操作。此外,资产中还包含包含软件开发的提示、命令和说明的广泛图形用户界面（GUI）。这允许用户监视进程并查看实时状态信息,以确保蚀刻和灰化过程的准确性。TCP9600设计的性能和质量都很好。它具有特别快的等离子体电位，具有出色的蚀刻均匀性和均匀性。此外，该工艺缺陷率低，步长覆盖率极高，适合大体积半导体器件制造或纳米尺度制造等应用。此型号提供多种选项,可根据功率、速度和脉冲宽度进行定制。例如,TCP 9600可以配备可选的无线LAN,用于远程访问和数据日志记录。此外，该设备还采用了功能强大、可靠的可编程逻辑控制器（PLC），可轻松生成各种操作参数，优化过程控制和多功能性。