二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #9262480 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是为金属、III-V化合物和电介质的高级蚀刻而设计的等离子体蚀刻器/asher设备。LAM RESEARCH TCP9600提供了针对各种薄膜应用而定制的高级精密工艺,同时提供了卓越的可重复性、均匀性和高质量的结果。TCP-9600包括一个900 MHz的高功率电源、一个2英寸的源腔室、一个24英寸x 21英寸的RF偏置压板以及一个带有预加载配方的计算机接口。TCP9600可以蚀刻极薄的层，到几纳米厚，具有高度的均匀性和可重复性。它为先进的薄膜蚀刻要求提供了理想的解决方桉。TCP 9600完全可以根据用户的需要定制,这使得它非常适合任何类型的蚀刻过程。它还支持多种化学类型以及多种腔室大小和工艺能力。LAM RESEARCH TCP-9600提供卓越的精度和过程重复性。它不断监测和调整工艺条件，显着提高蚀刻的重复性和产量。900 MHz电源比其他系统产生更高的功率密度，而其全面的计算机控制功能使离子能量、离子通量和功率水平等过程参数得以微调。该蚀刻器/asher还通过其多腔室系统提高了吞吐量。LAM RESEARCH TCP 9600采用集成的RF偏置板,能够在单个工艺周期内蚀刻更大的区域,并有助于减少对多种操作的需求。在安全方面，LAM RESEARCH TCP9600通过温度监测、安全联锁和其他安全功能确保工人的安全。等离子体蚀刻器/asher还配备了一个板载诊断单元，可以记录工艺参数，帮助操作员确保卓越的质量和可重复性。TCP-9600是一种多功能、高性能的蚀刻器/asher机器,可提供一流的精度和过程可重复性。它是任何需要高级流程功能和高质量结果的应用程序的首选解决方桉。