二手 LAM RESEARCH TCP 9600SE II #293757794 待售

LAM RESEARCH TCP 9600SE II是为现代半导体制造而设计的高精度、自动化蚀刻/灰烬设备。LAM RESEARCH TCP 9600 SE II具有先进的蚀刻/灰烬技术和各种工艺功能,为用户提供更好的控制和准确性,以满足他们的微加工需求。TCP 9600SE II专为快速、一致的蚀刻和灰处理时间而设计,并配备了Lam先进的精密控制工艺（PCP）技术。这项技术确保了可重复和一致的过程结果,并能够适应不断变化的过程条件。用户还可以根据自己的特定应用需求定制该工具,方法是从一系列工艺配方中进行选择,如干蚀刻、湿蚀刻、灰分和深蚀刻。TCP 9600 SE II的集成软件系统实时监控温度、压力和其他过程参数，每次运行结束时提供详细的过程报告。这些过程报告用于确保特定于客户的过程参数在微小公差内的一致性和准确性。此外，软件套件包括一个内置的数据分析和统计过程控制软件包，帮助用户监控结果并保持完整的过程可追踪性。LAM RESEARCH TCP 9600SE II还具有先进的环境控制能力，包括可变腔室压力和温度，以及可变晶圆偏差。LAM RESEARCH TCP 9600 SE II采用先进的气体密封装置,可确保清洁和安全的处理,同时满足所有法规要求。TCP 9600SE II旨在实现所有流程中的最大吞吐量和高吞吐量速率。凭借其紧凑的占地面积,它非常适合小型干式和湿式蚀刻应用,并且可以轻松容纳多达八个晶圆载体,以实现最高的生产率。为了获得最大的控制和精度,TCP 9600 SE II可以与各种行业标准的机器人系统集成。这提供了一系列自动晶片加载和检索,使用户能够持续保持较高的流程收益率。来自LAM RESEARCH的LAM RESEARCH TCP 9600SE II是一种用于先进半导体制造的通用、可靠的蚀刻/灰分机。它为用户提供了更好的控制和准确性，以满足他们所有的微加工需求，并有助于确保他们的产品达到最高标准。