二手 LAM RESEARCH TCP 9600SE II #293764330 待售

LAM RESEARCH TCP 9600SE II Asher是一款高速、全自动的等离子体蚀刻设备，旨在满足半导体行业最苛刻的蚀刻要求。它是一种双晶片蚀刻器，可以同时处理多达四个基板，提供前所未有的性能和吞吐量。这台机器是当今最可靠的蚀刻机之一，能够定期提供99.999%的产量。该系统由优质铝和不锈钢部件构成，能够在高温和高压下运行。腔室内部保持在最高400℃的温度，以确保均匀的工艺一致性。在受控大气中运行可消除外部空气的污染,并确保最高级别的过程控制。通过密封、坚固的电源为蚀刻器供电,使设备能够处理功率要求低的晶片。机器可以配置为使用射频源或微波源来启动等离子体。射频源能够在高频和低频模式下工作。此外,还可以将刀具配置为用于快速批处理或连续进纸操作。LAM 9600SE II具有一系列安全功能,为人员和设备提供额外的保护。其中包括一个液氮储层，具有水平监测、振动过滤系统、压力感测系统和过程计算机监测。自动化的等离子体蚀刻资产与包括预蚀刻清洗、冷却和数据记录在内的各种支持功能集成在一起，以确保优化的过程控制。该型号还配备了包括高级扫描算法、精确蚀刻窗口、可重复性参数在内的最新精密蚀刻功能。这确保了蚀刻零件的最高质量级别,并允许有效生产所需的工艺优化。LAM 9600SE II设备用途广泛,可用于生产多种产品。从微匹配元件到高性能元件，可以有效蚀刻小结构，不牺牲质量。高级蚀刻控制参数、监控系统和系统集成功能的结合，使其成为当今市场上最可靠的蚀刻系统之一。