二手 LAM RESEARCH TCP 9608 SE #9157867 待售

LAM RESEARCH TCP 9608 SE是一种为半导体制造而设计的自动化蚀刻器/asher。它能够以高达300WPH的速度处理多达300至600 8英寸晶片。此蚀刻器/asher具有20个插槽的盒式磁带,提供低至0.1mbar的腔室压力控制,并提供高性能蚀刻工艺。它是首批具有低压加工特点的生产蚀刻之一，与有机气相蚀刻兼容。TCP 9608 SE具有模块化结构,并带有一系列自动化组件,包括真空系统、气体和材料输送系统、控制系统以及人机接口（HMI）。它有两个房间的设计，不需要手动机器人维护，并确保洁净室的兼容性。LAM RESEARCH TCP 9608 SE通过其HMI和对腔室压力和工艺气体的精细控制提供了方便的工艺控制。它还具有强大的内置安全系统，包括防止危险化学品释放的过程气体管理系统。TCP 9608 SE具有自上而下的等离子体源，非常适合创建具有高均匀性和可重复性的高度重复性特征模式。它还有一个分室设计，尽量减少有害的化学过程的可能性。可以优化蚀刻器的腔室压力，以确保最高通量和最低化学用量。LAM RESEARCH TCP 9608 SE在不锈钢、SiC、TiN/TiC、铝、钛等蚀刻应用中提供卓越性能。它灵活的体系结构和一系列的处理选项使它能够用于单面和双面蚀刻。此蚀刻器/asher还设计用于高通量和低成本晶圆制造。其综合流程确保了高产量的一贯优质产品。这些功能使TCP 9608 SE成为寻求高效蚀刻器并能够提供优质结果的半导体制造商的理想选择。其高性能和成本效益使其成为执行各种晶圆处理任务的绝佳选择。