二手 LAM RESEARCH TCP 9608 SE #9226416 待售
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ID: 9226416
优质的: 1998
Metal etchers
Main CPU & ACDC module
SMIF System: (2) ASYST 2200 Indexers
Sub fab equipment: Remote AC box
Handler system:
Wafer notch alignment with spatula
(2) Harmonic drive with wafer handlers
APM Slider with shuttle arm
Process chambers:
Etching with E-chuck
Stripping
Spin rinse dry with vacuum chuck
Main chamber:
Turbo pump 1000 ltrs with controller
E-Chuck
TCP RF Match
Bias RF Match
(2) RF Generators
CL2 MFC: 100 SCCM
BCL3 MFC: 50 SCCM
O2 MFC: 300 SCCM
N2 MFC: 20 SCCM
N2 MFC: 1000 SCCM
Ar MFC: 100 SCCM
He UPC: 50 SCCM
Strip chamber:
DSQ RF Match
Heater paddle
RF Generator
Manual WVDS Controller
O2 MFC: 2000 SCCM
N2 MFC: 300 SCCM
H2O MFC: 500 SCCM
With controller
(2) Load locks
(3) RF Generators: 1250 W
Manual WVDS Controller
1998 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9608 SE是专门为抛光铝、黄铜和其他金属而设计的蚀刻器/asher。蚀刻器/asher利用受控等离子体源在精确的水平和温度下蚀刻金属表面。该系统是一个高度通用的机器，能够同时蚀刻和粉刷，在两个独立的房间。第一室设计用于在高达701 °C的温度下进行选择性蚀刻过程，以及多种气体如氯气、氧气、氙气和氮气。它非常适合薄膜沉积、掩蔽、沟槽和护垫定义等结构化过程。第二个腔室设计用于执行灰化过程,温度可高达750 °C。这样可以更快、更高效地对有机材料如聚合物、光致抗蚀剂、perfluro聚合物和丙烯酸进行灰化处理。TCP 9608 SE具有多项功能,可进一步提高蚀刻和灰化工艺的效率。它配备了排放监控器和压力传感器，确保过程稳定和可重复运行。此外，蚀刻室还具有可调节的流速和气体溷合溷合系统，可精确控制蚀刻和灰化过程。该室还具有多种配方的集成配置文件，便于保存和重复常用过程。LAM RESEARCH TCP 9608 SE专为实验室和工业应用而设计。它设计用于安全操作，并提供内置的安全罩，以提高安全性。它还符合CE和UL标准,确保机器的使用寿命和质量。该系统还具有确保工艺精度的特点：具有三轴运动能力，最大限度地减少了平面的漂移，并实现了精确的工艺测量。总体而言,TCP 9608 SE是一种蚀刻器/asher,旨在满足研究人员、工业工程师和开发专业人员的需求。它提供精确的蚀刻和灰化功能,以及几个安全功能,以保护用户。此外，它还配备了运动能力和先进的精密蚀刻和灰化工艺控制系统。LAM RESEARCH TCP 9608 SE是您最好的选择。
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