二手 LAM RESEARCH TCP 9608 #79000 待售
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已售出
ID: 79000
Metal Etcher
Lam Rainbow Classic Software Ver. E1.5-021
Stand Alone Installation
Bolt-On SMIF
Equipe Autoloader Configuration
9600SE Process Chamber
Monopolar ESC
Fixed Gap
12” TCP Coil
Seiko Seiki 1000ml TMP
Heated Pump Stack and Manifold
Photodiode Endpoint Detection (703nm & 261.8nm)
Chamber Liner
Hinged DSQ Chamber
WVDS
Remote AC Box
Remote Operator Interface
Atmospheric Passivation Module
Edwards 40/80 TCU
(3) Onboard Advanced Energy RFG 1250 RF Generators.
LAM RESEARCH TCP 9608是一款蚀刻器/asher,常用于高科技蚀刻和灰化行业,用于创建电路板和其他集成电路。TCP 9608是一款生产级蚀刻器/asher,吞吐量高,质量优良。此蚀刻器/asher由五个独立通道和32个工艺级别提供支持,以实现完整的工艺灵活性。LAM RESEARCH TCP 9608的综合安全功能确保了可靠和安全的操作。TCP 9608使用标准或性能流程来实现高吞吐量,同时保持卓越的质量。它拥有先进的光刻设备以及精密集成掺杂系统。这使得它可以轻松准确地创建复杂的集成电路而不会损坏材料。此外,LAM RESEARCH TCP 9608效率很高,只消耗最小的电力以降低成本。TCP 9608能够使用多种材料蚀刻/灰烬。这些材料包括氧化硅、氧化铝、氮化铝等。这种种类繁多的材料是必要的,以便在集成电路中创建复杂的设计。由于每个风扇光束都可以独立微调,因此在蚀刻/灰化时,枪管室也是有益的。这样可以在整个生产过程中实现卓越的精度和可重复性。LAM RESEARCH TCP 9608的集成安全功能旨在确保免受有害材料的侵袭,同时仍允许高吞吐量。冲洗前和冲洗后系统在每个过程前后对腔室进行清洁,确保腔室内不会残留任何有害材料。此外,TCP 9608还连接到能够实时访问计算机的集中式监视和控制单元。这样就可以远程监视进程,从而确保不会出现意外问题。最后,LAM RESEARCH TCP 9608是一种质量最高的蚀刻器/粉碎器.它具有较高的吞吐量和卓越的质量,同时也是最经济高效的系统之一。它可以蚀刻/灰分的多种材料和集成的安全功能确保它是现有的最佳蚀刻器/灰分器之一。
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