二手 LAM RESEARCH TM4.1 #9198145 待售

LAM RESEARCH TM 4.1是一款最先进的蚀刻器/灰化器,旨在为各种应用程序提供高质量和可重复的过程,涵盖各种气体、压力和温度。TM 4.1 蚀刻器/asher将坚固而高精度的设计与动态原位过程控制相结合,从而在各种过程中最大限度地提高产量和吞吐量。TM 4.1 蚀刻器/Asher采用坚固可靠的机械元件,可确保使用寿命长,维护最少。其强大的设计还有助于确保晶圆运行过程中可重复的均匀性。TM 4.1包括一个石英室,该石英室配有电气进气通路、不锈钢法兰、200毫米选择器阀和一个工艺气体组件,该组件可定制以容纳多种工艺气体。TM 4.1的专用控制器系统提供动态的原位过程控制和自适应响应,以确保所有过程配方都具有可重复的性能。此外,TM 4.1还包括一个用于样品烘烤的辅助加工室,以及一个晶片对齐和加载端口,以便于装卸晶片、掩模和其他物品。TM 4.1还提供了自动紧急关闭阀、惰性储气系统等先进的安全功能，以及与有源腔室清洗系统集成的能力。TM 4.1设计用于多种应用,包括但不限于蚀刻和灰化、抗蚀条、薄膜沉积、较厚的薄膜沉积和晶片脱毛。综上所述,LAM RESEARCH TM 4.1 蚀刻器/asher是一个强大而高精度的系统,它为自定义过程提供先进的激光蚀刻工艺配方和动态原位过程控制。其坚固的机械和电气设计、通用的工艺气体以及先进的安全功能确保了一致的性能和可重复性。通过将TM 4.1 蚀刻器/asher的功能与高效的晶圆处理服务相结合,制造商可以充分利用其晶圆处理应用。