二手 LAM RESEARCH Torus 200 #293689233 待售

LAM RESEARCH Torus 200
ID: 293689233
晶圆大小: 8"
Etchers, 8".
LAM RESEARCH Torus 200是一款高度精确的蚀刻器,能够为各种行业制造超纯半导体材料和元件。这种先进的工具采用了获得专利的双光束激光辅助蚀刻方法,使其能够实现所需的阵列,同时最大限度地减少非均匀性和蚀刻畸变。Torus 200由各种先进组件提供动力,包括可提供高达100瓦功率的直流等离子体发电机和可提供精确和定期蚀刻的射频电源。它还具有最先进的聚焦组件阵列,可以精确控制蚀刻过程,以及在蚀刻过程中保持理想条件的再循环多级冷却设备。该装置还配备了多种安全功能,包括检测任何N2、O2和其他气体组合的氮气检测仪,以及一个包含任何危险气体的自动外壳。此外,其直观的控制系统还具有机载警报、自动校准、备份和恢复功能,以及功能强大的显示单元,可轻松导航并获得准确的蚀刻结果。LAM RESEARCH Torus 200的精确蚀刻能力使其成为半导体行业的宝贵工具。它的多种蚀刻方法-包括物理气相沉积(PVD)和离子铣削-允许对高纯度材料中的微观成分进行非常精确的图样化。这使得它非常适合生产尖端半导体以及一系列其他精密元件。Torus 200是一款令人印象深刻的设备,其简化、用户友好的控制机器使其成为任何生产线的绝佳补充。LAM RESEARCH Torus 200以其精密的蚀刻方法和先进的安全特性,是生产半导体元件必不可少的器件。
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