二手 LAM RESEARCH Torus 200 #9235815 待售

LAM RESEARCH Torus 200是一种精密的蚀刻/灰分设备，设计用于在半导体制造过程中对薄膜层进行精确的蚀刻/灰分处理。Torus 200利用真空室与强大的电子回旋共振（ECR）等离子体源系统耦合，提供优化的蚀刻/灰分过程，包括选择性（各向异性）蚀刻，高通量。等离子体源功率为200瓦，能够在0.1-50 mTorr范围内的Argon （Ar）和Fluorine （F）气体环境中工作。它配备了电机驱动的焦环驱动程序、频率可编程电源控制器、安全互锁开关以及带有石英窗的源循环托盘。LAM RESEARCH Torus 200主蚀刻室能够在高达150°C的温度下处理多达两个4英寸的晶片，而负载锁可以在并行过程中处理多达四个4英寸的晶片。该单元提供同时蚀刻/灰分功能和双腔室化学特性--允许在同一晶片上执行多个蚀刻/灰分步骤以进行设备优化。该高级平台采用灵活的配方参数和精确的过程控制，以及具有配方管理功能的高级人机接口（HMI）。这使用户能够根据特定的蚀刻/灰烬要求快速轻松地配置流程参数。Torus 200还具有运输和加工室的全隔离、具有坚固烘烤功能的真空加工室以及远程服务终端,以确保工业水平的生产稳定性和提高用户安全性。该机具有独特的空气轴承和磁悬浮级溷合设计，以及LAM的驾驶员反馈控制TOYOMOTION控制软件，因此具有很高的可靠性。LAM RESEARCH Torus 200蚀刻/灰分工具为半导体制造需求提供了一个高效、经济高效且注重能源的解决方桉。适用于ULSI应用的蚀刻内存设备、高压层和特殊层。Torus 200在业界表现极佳，以优异的选择性和均匀性提供优越的蚀刻/灰分品质。它是当今动态半导体制造业的完美工具。