二手 LAM RESEARCH Torus 200 #9376881 待售

LAM RESEARCH Torus 200是一款专门为满足各种应用程序的需求而设计的蚀刻器/asher。它设有直列式三维（3D）成像设备、下游观测港和集成输送机系统。这种多功能蚀刻和灰化装置非常适合高通量基材制备和单室薄膜沉积。Torus 200提供先进的加工多功能性,将蚀刻和灰化结合在同一个腔室中。它包括一个智能气体控制机，最多支持四种工艺气体，允许在一个循环中多个基板和薄膜过程。气体控制工具通过自动调整每种底物的蚀刻和灰化条件来优化反应参数。为了精确的基板对准和便于工具的装卸，提供了一个集成的基板输送机资产。LAM RESEARCH Torus 200利用串联3D成像模型在加工过程中检测基板上的任何缺陷或杂质。自动检查设备可以检测到编程数据与实际基板状态之间的任何不符合-允许实时反馈以实现最终的过程准确性和控制。下游观测港还协助监测和操纵蚀刻和灰化过程。该端口提供卓越的观察功能,并允许用户同时观察基板的正面、侧面和背面。一个独特的自动放置系统（APS）可用于优化样品在基领上的定位，同时考虑到表面的任何不规则性。Torus 200配备了先进的安全功能，确保人员和设备的总体安全。为了进一步提高蚀刻和灰化质量,提供了先进的嵌入式软件解决方桉,可以与其他PrCB系统完全集成。该单元的轻巧和坚固的设计使其适合试点和大规模生产中的多种应用。总而言之，LAM RESEARCH Torus 200是一款可靠的蚀刻器/asher，非常适合各种应用。Torus 200具有多种工艺功能、先进的成像机、集成的传送工具和安全功能,通过提供高质量和可靠的解决方桉满足客户的各种需求。此外，它重量轻，结构坚固，非常适合在各种条件下进行连续和自动化操作。