二手 LAM RESEARCH Torus 300B #9407116 待售
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LAM RESEARCH Torus 300B是一种先进的、高精度的蚀刻/asher设备，用于半导体工业的晶圆加工。该蚀刻器用于各种工艺，包括蚀刻和抛光。Torus 300B是一种全自动工具,能够在广泛的蚀刻和清洁过程中提供高度准确和可重复的结果。LAM RESEARCH Torus 300B由气体控制系统提供动力，该系统与闭环反应室集成在一起，可最大程度地控制蚀刻参数。反应室可以快速、容易地改变，从而方便地在不同的蚀刻化学和底物之间切换。腔室容量可达1.8L，机组采用低温蚀刻选项设计。圆环300B设计有一个高效的反应室，以尽量降低操作成本。已集成了先进的过程控制算法和改进的硬件,以提供具有卓越流程性能的高可重复性结果。可以通过机器的用户友好图形界面实时监控蚀刻过程，提供对蚀刻参数的完全控制。该工具的集成晶圆处理模块允许快速准确的晶圆装卸，简化晶圆处理。该资产可通过多种附加功能进行定制,如原位洗涤和用于精确清洁的专用泵。还可以集成先进的真空封装，以优化工艺精度，减少工艺时间。LAM RESEARCH Torus 300B设计方便用户且可靠,可提高流程稳定性和可重复性。该型号的出色生产效率和性能使其与当今市场上的其他蚀刻器和分类器脱颖而出。它是任何希望高效可靠地加工高端晶片的半导体制造设施的理想选择。
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