二手 LAM RESEARCH Torus 300B #9407118 待售

LAM RESEARCH Torus 300B是一种单晶圆蚀刻器和asher，设计用于快速准确地处理高精度晶圆。这种设备具有很高的选择性和可靠性，使其能够准确地生产各种形状和大小复杂的结构。圆环300B采用精确的闭环反馈控制，监测腔室压力和气流，以实现精确的均匀蚀刻。这允许精确的差分蚀刻结构,其阵列尺寸适合各种应用。这些应用包括先进的光刻、精细电路和MEMS制造、3D IC（3维集成电路）和高密度电子设备。这一系列的两级水泵提供了一个强大、快速和高度精确的蚀刻过程，从而提高了吞吐量和产量。这些泵是刚性安装和真空密封，以减少潜在的振动，而包括高精度定位伺服执行器消除手动操作和对准。此外，该系统还采用了专利的集成自对齐等离子体源，具有先进的工艺控制，以确保高性能运行。LAM RESEARCH Torus 300B还提供了广泛的高级功能,例如灵活匹配模式（FMM）,该单元遵循最佳的工艺时间安排,在晶圆上提供一致的蚀刻,以及可选择的循环时间缩短（CTR）功能,可将非生产性循环时间缩短至70%。此外，该机器还包括广泛的安全和保护机制，包括获得专利的超低颗粒蚀刻（ULPE）工艺，以确保操作员免受有害废气的侵害。总体而言，Torus 300B是一种可靠且先进的蚀刻工具，能够以精确的选择性和均匀性产生复杂的图样。两级泵的系列提供了高性能和精确度，而集成的自对准等离子体源则保证了高性能的运行。此外，资产还提供安全和保护机制，以确保操作员的安全。