二手 LAM RESEARCH Torus 300B #9408569 待售

LAM RESEARCH Torus 300B是一种专门设计用于集成电路制造的蚀刻器/asher。它是一种高度专业化的蚀刻和灰化器，可用于各种蚀刻和灰化操作。圆环300B具有双气体输送设备，使用户可以灵活使用反应性气体溷合物或同位素。其较大的活动区域允许高密度蚀刻和灰化,而不会影响边缘分辨率。LAM RESEARCH Torus 300B室设计用于时间和能量锁定交付,这有助于确保获得最佳结果。其可调压力范围高达5毫巴，可调温度范围为-5 °C至+150 °C。这使得它能够有效的蚀刻几乎所有材料具有各种蚀刻参数。它也可以用来沉积金属和电介质，使其成为广泛制造作业的理想之选。圆环300B利用热蒸发器，使用户能够以高精度精确沉积材料，包括金属和电介质。它还具有内置蚀刻监视器,使用户能够跟踪蚀刻过程的进度。使用随附的软件，用户可以对各种蚀刻参数进行编程，包括基材、循环步数、光掩模图桉和工艺控制参数。LAM RESEARCH Torus 300B封装在真空室中，保持工艺环境稳定，使用户可实现重复可靠的效果。此外,它的设计便于安装和最小的维护。Torus 300B利用自动化的自我诊断系统,用户可以快速诊断和解决任何单元问题。LAM RESEARCH Torus 300B是出于安全考虑而打造的。它有一个紧急联锁机器，在紧急情况下迅速关闭工具和疏散气体。此外，它还包括一个内置的压力和温度监测资产。所有这些功能都确保操作员在安全和合规的环境中工作。总体而言,Torus 300B是制造高质量集成电路的理想蚀刻器和粉碎器。其双气体输送模式和可调节的压力和温度范围，可以轻松处理各种蚀刻和灰化应用。它可调的循环参数和内置的安全特性，使其可靠、安全地供操作员使用。